学习报告
当前位置:首页 > 工作报告 > 学习报告 > 列表页

黄光学习报告

小草范文网  发布于:2016-10-13  分类: 学习报告 手机版

篇一:黄光学习报告20130103

(本文来自:wwW.xIaocAofanwEn.coM 小草 范文 网:黄光学习报告)

学习报告

黄光制程各个步骤作用以及使用方法:

1. PR 前清洗

A.清洗:指清除吸附在玻璃表面的各种有害杂质或油污。

清洗方法是利用各种化学浓剂(KOH)和有机浓剂与吸附在玻璃表面上的杂质及油污发生化学反应和浓解作用,或以磨刷喷洗等物理措施,使杂质从玻璃表面脱落,然后用大量的去离子水(DI 水)冲洗,从而获得洁净的玻璃表面。(风切是关键)

B. 干燥:因经过清洗后的玻璃,表面沾有水或有机浓剂等清洗液。这样会对后续工序造成不良影响,特别是对后续光刻工艺会产生浮胶、钻蚀、图形不清晰等不良现象。因此,清洗后的玻璃必须经过干燥处理。

目前常采用的方法是烘干法,而是利用高温烘烤,使玻璃表面的水分气化变为水蒸气而除去的过程,此方法省时又省力。但是如果水的纯度不变,空气净化等不多或干燥机温度不够,玻璃表面残存的水分虽经气化为蒸气,但在玻璃表面还会留下水珠,这种水珠将直接影响后续工序的产品质量。

C. 十槽清洗机,PR 清洗机制程参数之设定:

1---3 槽KOH 溶液为0.4~0.7N,温度为60±5℃,浸泡时间为2~3min/槽纯水溢流量为0.5±0.2 ㎡/n.

KOH 溶度为1.0N~1.6N,温度为40±5℃,喷洗压为0.2~1.0kgf/c ㎡,传动速度

为3.0~4.5m/min,磨刷转速为85~95rpm,压力为0.2~1.0kg/c ㎡,纯水温度为40±5℃,干燥机1.2.3 段温度为110℃±10℃。

注:玻璃清洗洁净度不够之改改善对策,适当加入少许KOH 溶液,改变KOH、溶液,经常擦拭风切口,喷洗等处,亦可调态清洗机传动速度,将传速度减慢。

2. PR 涂佈

光刻是一种图形复印和化学腐蚀相结合,综合性的精密表面加工技术。

光刻的目的就是按照产品设计要求,在导电玻璃上覆感光胶。

A.光刻胶的配制

光刻胶的性能与光刻胶的配比有关。配比的选择原则是即要光刻胶是有良好的抗蚀能力,又要有较高的分辨率。但两者往往是相互矛盾的,不能同时达到。因此,必须根据不同的光刻对象和要求,选取不同的配比。

光刻胶的配制应在暗室(洁净度较高的房间)中进行。用量筒按配方比例将原胶及溶剂分别量好,再将溶剂倒入原胶,用玻璃棒充分搅拌使之均匀混合,通常刚配制好的光刻胶中必然还存在少量因态物质微粒未能完全溶解,为把这部分未能溶解的固态物质微粒滤除,我们一般采用自然沉淀法进行过滤。

B.涂胶

为保证ITO 层与光刻胶之间有良好的接触和粘附,清洗后的玻璃应立即送光刻工序进行涂胶。如果玻璃搁置较久或者光刻返工,必须重洗在涂胶。

涂胶要求,粘附良好,均匀厚薄适当。若胶膜太薄,针孔较多,则抗蚀能力差,胶膜太厚,则分辨率低。

涂胶方法采用旋转及车混涂法。为保证胶膜质量,涂胶应在洁净无尘操作箱内进行。涂胶机内温度应保持在20℃~25℃范围内,相对温度低于60%,涂胶要在黄灯照射条件下进行,以防止光刻胶露光失效。

C. 前烘

前烘的方法是在恒温干燥箱中烘烤,具体条件视胶的种类和性质而定。

影响前烘质量的主要因素是温度和时间,烘烤不足(温度过低或时间太短),在胶膜与ITO 交界面处,胶中的溶剂未充分挥发,曝光后形成浮胶或使图形变形。烘烤过头(温度太高或时间太长),会导致胶膜翘曲硬化,形成不易溶于显影液中的薄膜而留下来,显影不干净或胶面发皱,发黑,失去抗蚀能力。

D.PR 涂胶机机台参数之设定

滚轮传速与涂布轮传速为218±5 转1 分,干燥机传速为4.0±2m/min。

光刻胶米方度为30±2mpa.s,光刻胶压入量为0.5±0.1mm.(光刻胶只能四收5 次使用)光阻剂:稀释剂=10:1(依粘度测试情况而定).注:涂布不良(涂布气泡、涂布不均匀)之改善对策,调态涂胶滴管内光刻胶滴入量。

3.曝光

目前曝光方法采用接触式曝光,因此方法所用设备简单,操作方便,它包括“定位”和“曝光两个步聚。定位对光刻精度影响很大,是光刻中十分重要的一环,要认真对准。 一般操作程序是:光预热紫外光(UV)灯,待光源稳定后,把菲林安装在支架上;将涂有光刻胶的ITO 玻璃放在平台上,胶面朝上,将光刻菲林支架放下,仔细调态平台微动装置,使菲林上定位标志与平台上玻璃的定位准确套合。定位完成即可曝光,曝光后经过显影并检查定位是否正确。

曝光时间由光源到ITO 玻璃的距离,光源强弱,光刻胶的感光性能及菲林、玻璃厚薄等因素决定如曝光时间过短,光刻胶感光不足,则其光化学反应不充分,光刻胶的抗蚀性能就会降低,显影时部分溶解,此时在投影机下可观察到胶膜发黑;若曝光时间太长,会使光刻胶本不该感光部分的边缘被微弱感光,即产生“晕光”现象,蚀刻后边原模糊或发现皱纹,使分辨率降低。

为了保证曝光质量,在操作中要注意以下几点;

(1)定位必须严格套准

(2)菲林必须平整地贴在玻璃上,不能有空隙。若存在空隙,则不该曝光的地方会受到光

的照射,使图形产生畸变;

(3)曝光操作中,应注意动作要轻,保护好菲林不致划伤;

(4)曝光时间必须准确控制。

曝光治具有菲林、干版、絡版

曝光工艺参数之设定:

(5)光量为100-140mj/c ㎡,曝光时间为6.8-8.5s,曝光柄位之标准公差±0.2mm,曝光机内紫外光被为380-780 纳米。

4.显影

显影的目的是将未感光部分的光刻胶溶除,留下感光部分胶膜,从而显现出所需要的图行。

显影必须彻底,以使图形边缘整齐。显影需严格控制好显影时间。若显影时间不足,则在未感光处留下一层不易察觉的光刻胶层,在蚀刻ITO 层之间,它起了祖蚀作用,而随意蚀刻液对这一博层胶膜的穿透和破坏,使这一博层的ITO层蚀刻不彻底,形成斑纹或小岛。此外,显影不足还会使胶膜边缘出现厚度不均的过夜区,造成边缘毛刺,图形模糊,影响光刻质量。若显影时间过长,由于显影时光刻胶发生软化、膨胀,显影液从ITO 层表面向图形边缘渗入,发生粘溶,使图形边缘变形。有的甚至会出现浮胶现象,ITO 表面的胶膜皱起呈橘皮状,严重的甚至大片剥落形成脱胶。

为了保证显影质量,必须严格控制显影显影时间并及时更换显影液。显影后玻璃一般应检查一下几个方面:

(1)图形定位是否准确;(2)图形边缘是否整齐;(3)有无皱胶和胶发黑;

(4)有无浮胶;(5)有无胶面及ITO 层的划伤; (6)显影漂洗是否干净等;

显影机工艺参数之设定:

KOH 溶度为0.1-0.18N,温度为30±2℃,压力为≦0.2kg/c ㎡,传速为4.5±1.5m/min,喷洗压力为0.1-0.5 kg/c ㎡。

5. 坚膜

由于显影时胶膜发生软化、膨胀,影响胶膜抗蚀能力,,因此在显影后必须以适当温度烘干玻璃,以去除显影夜和水份,使胶膜坚固。坚膜可以使胶膜与ITO层之间贴得更牢,同时也增强了胶膜本身的抗蚀能力。

坚膜的温度和时间要适当选择,若坚膜不足,则因胶膜没有烘透,不够坚固,在蚀刻时发生浮胶或严重测蚀等。若坚膜过度,则使胶膜因热膨胀会产生翘曲和剥落,当蚀刻时会发生钻蚀或浮胶。坚膜最好采用缓慢升温和自然冷却法,这样可使胶膜更坚固,防止因胶的细 小裂纹而出现毛刺现象。

6. 蚀刻

蚀刻所选用的酸夜必须能腐蚀掉裸露的ITO 层,又不损伤玻璃表面的光刻胶层。另外,还要求酸夜毒性小,使用方便。(酸夜为HCL+HNO3 的混合物)。

蚀刻温度对蚀刻效果影响很大,温度太低,则蚀刻时间要长,易产生浮胶;温度太高,则蚀刻酸夜太活泼,也较易产生脱胶或钻蚀现象。

7.剥膜

所谓剥膜,就是将经过蚀刻的玻璃表面残留的光刻胶去除干净。

剥膜液溶度(KOH)需控制在0.8-1.6N 范围内。

8.DI水清洗

用纯水清洗玻璃表面,完全去除KOH 残夜和表面沾污

将ITO 图案出来好的玻璃暂存净化区,为下一工序做准备

2013年01月03日

篇二:黄光流程学习报告20130102

学习报告

随着TP行业的激烈竞争,触摸屏技术不断更新和创新,黄光制造成为了目前TP行业不可或缺的技术之一。以下是电容屏黄光制程工艺:

一、制造之定义

所谓制造,不仅是生产产品,而且含有以正常成本的费用、正常的使用工时及在所定的期限内,制出品质稳定、符合客户规格的产品。

二、工作职掌

1、人员管理、教育培训 2、机器设备保养3、生产进度控制及调整 4、物料控制

5、效率改善 6、品质改善7、安全管理 8、现场管理及改善

三、工艺流程图

PR前清洗→印刷背保→ DI清洗→ PR涂布

坚膜 ← 显影 ← UV曝光 ← PR固化

蚀刻 → 脱膜 → DI清洗

1、PR 前清洗

ITOGLASS 清洗指用物理的方法(磨刷喷洗)和化学的方法(去离子水DI 水和KOH)将玻璃表面的脏污和油污、杂质除去并干燥的过程。

2、PR 涂佈

指在玻璃的导电层表面均匀涂上一层光刻胶。

3、前烘

指在一定温度下将涂有光刻胶的玻璃烘一段时间、使光刻胶的溶剂挥发,形成固体的PR 层。

4、曝光

指用紫外线通过预先设置好的菲林垂直照射光刻胶表面,使被照射部分的光刻胶发生反应。

5、显影

指用弱 KOH 溶液去离玻璃表面将径光照射部分的光刻胶除去,保留未照射部分的光刻胶。

6、坚膜

指将玻璃在径一次高温处理,使光刻胶膜更加坚固。

7、蚀刻

指用适当的酸液将无光刻胶覆盖的 ITO 层除去,这样就得到了我们所需要的ITO 电极图形。

8、脱膜

指用较强的 KOH 剥膜液将残留光刻胶除去,将玻璃表面清洗干燥。

2013年01月02日

篇三:黄光增白项目可行性研究报告

如何编制黄光增白项目

可行性研究报告

(立项+批地+贷款)

编制单位:北京中投信德国际信息咨询有限公司

编制时间:二〇一四年十月

咨询师:高建

目 录

目 录...................................................................................................................... 2

专家答疑:............................................................................................................ 4

一、可研报告定义:............................................................................................ 4

二、可行性研究报告的用途................................................................................ 4

1. 用于向投资主管部门备案、行政审批的可行性研究报告.................. 5

2. 用于向金融机构贷款的可行性研究报告.............................................. 5

3. 用于企业融资、对外招商合作的可行性研究报告.............................. 5

4. 用于申请进口设备免税的可行性研究报告.......................................... 6

5. 用于境外投资项目核准的可行性研究报告.......................................... 6

6. 用于环境评价、审批工业用地的可行性研究报告.............................. 6

三、可行性研究报告的编制依据........................................................................ 6

四、 可研报告编制收费标准及时间.................................................................. 7

1、收费标准.................................................................................................. 7

2、付款方式.................................................................................................. 8

五、我们的优势.................................................................................................... 8

1、良好的信誉保障 ..................................................................................... 8

2、专业的咨询团队 ..................................................................................... 8

3、丰富案例经验 ......................................................................................... 9

4、精准的数据库支持 ................................................................................. 9

六、可研报告编制大纲:.................................................................................. 10

表目录.................................................................................................. 28

表目录.................................................................................................. 29

表1-1 本报告研究范围 ................................................................... 29

表1-2 报告误差控制表 ................................................................... 29

表1-3 本报告编制依据 ................................................................... 29

表1-4 黄光增白新建项目产品型号及产能一览表 ....................... 29

表1-5 黄光增白新建项目项目概况 ............................................... 29

表1-6 黄光增白新建项目项目资金来源与使用计划 ................... 29

表1-7 黄光增白新建项目综合经济技术指标 ............................... 29

表2-1 黄光增白新建项目主要产品型号及计划产能 ................... 29

表2-3 黄光增白新建项目主要产品和规格 ................................... 29

表2-4 黄光增白新建项目 ............................................................... 29

表2-5 黄光增白新建项目产品规格 ............................................... 29

表3-1 2007-2014年我国黄光增白产量 ......................................... 29

表3-2 2014-2019年我国黄光增白产量预测表 ............................. 29

表3-3 黄光增白新建项目战略规划一览表 ................................... 29

表3-4 2013-2018年黄光增白新建项目产品产量预测 ................. 29

表4-1 黄光增白新建项目主要建构筑物一览表 ........................... 29

表4-2 黄光增白新建项目投资强度分析 ....................................... 29

表4-3 黄光增白新建项目项目建筑系数分析 ............................... 29

七、可研报告资料提供清单:.......................................................................... 30

1、项目的基本信息.................................................................................... 30

2、项目的主要产品.................................................................................... 31

3、项目的生产资源.................................................................................... 31

4、项目(现有设施)的土建工程............................................................ 32

5、项目的环境与劳动保护........................................................................ 32

6、项目的工作人员.................................................................................... 33

7、对项目的补充说明或编写要求............................................................ 33

八、国家发改委对工程咨询31个专业所包括内容........................................ 33

九、 资质证书样本............................................................................................ 35

专家答疑:

一、可研报告定义:

可行性研究报告,简称可研报告,是在制订生产、基建、科研计划的前期,通过全面的调查研究,分析论证某个建设或改造工程、某种科学研究、某项商务活动切实可行而提出的一种书面材料。

可行性研究报告主要是通过对项目的主要内容和配套条件,如市场需求、资源供应、建设规模、工艺路线、设备选型、环境影响、资金筹措、盈利能力等,从技术、经济、工程等方面进行调查研究和分析比较,并对项目建成以后可能取得的财务、经济效益及社会影响进行预测,从而提出该项目是否值得投资和如何进行建设的咨询意见,为项目决策提供依据的一种综合性分析方法。可行性研究具有预见性、公正性、可靠性、科学性的特点。

一般来说,可行性研究是以市场供需为立足点,以资源投入为限度,以科学方法为手段,以一系列评价指标为结果,它通常处理两方面的问题:一是确定项目在技术上能否实施,二是如何才能取得最佳效益。

二、可行性研究报告的用途 项目可行性研究报告是项目实施主体为了实施某项经济活动需要委托专业研究机构编撰的重要文件,其主要体现在如下几个方面作用:

1. 用于向投资主管部门备案、行政审批的可行性研究报告

根据《国务院关于投资体制改革的决定》国发(2004)20号的规定,我国对不使用政府投资的项目实行核准和备案两种批复方式,其中核准项目向政府部门提交项目申请报告,备案项目一般提交项目可行性研究报告。

同时,根据《国务院对确需保留的行政审批项目设定行政许可的决定》,对某些项目仍旧保留行政审批权,投资主体仍需向审批部门提交项目可行性研究报告。

2. 用于向金融机构贷款的可行性研究报告

我国的商业银行、国家开发银行和进出口银行等以及其他境内外的各类金融机构在接受项目建设贷款时,会对贷款项目进行全面、细致的分析平谷,银行等金融机构只有在确认项目具有偿还贷款能力、不承担过大的风险情况下,才会同意贷款。项目投资方需要出具详细的可行性研究报告,银行等金融机构只有在确认项目具有偿还贷款能力、不承担过大的风险情况下,才会同意贷款。

3. 用于企业融资、对外招商合作的可行性研究报告

此类研究报告通常要求市场分析准确、投资方案合理、并提供竞争分析、营销计划、管理方案、技术研发等实际运作方案。

本文已影响